【摘 要】
:
金属有机物化学汽相沉积(Metal Organic Chemical Vapor Deposition,MOCVD)是一项制造薄膜材料的关键技术,目前广泛应用于制备高质量半导体薄膜、铁电薄膜、超导薄膜和各种半导体
论文部分内容阅读
金属有机物化学汽相沉积(Metal Organic Chemical Vapor Deposition,MOCVD)是一项制造薄膜材料的关键技术,目前广泛应用于制备高质量半导体薄膜、铁电薄膜、超导薄膜和各种半导体器件。本文在研究了现代MOCVD技术的基本原理和特点的基础上,研制了采用液态源的MOCVD系统。
用MOCVD法沉积热释电薄膜的主要障碍是先体材料,传统的方法多采用气态源,且多选取较高蒸气压的MO源先体。本文采用了金属醇盐的液态MO源先体、液体脉冲输送和超声雾化技术,能有效地解决先体材料及其输送问题。液态源MOCVD系统的硬件部分主要由真空系统、液态源输送系统、进气系统和温控系统构成。设备的操作采用可编程控制器(PLC)和触摸屏。利用PLC和智能仪表等实现信号的采集转换及控制,实现了设备的自动化控制。
将所需元素的金属有机物按一定化学计量比制成液态或固态MO源先体,再溶解于有机溶剂中,形成一定摩尔浓度的溶液或悬浊液,即液态MO源先体。然后由输送泵将液态MO源先体输送到超声雾化器雾化,成为微米级的汽雾。再与反应气体生成所需要的氧化物,沉积在温度可控的衬底上。文中配制了锆钛比为30:70的PZT(锆钛酸铅)先体溶液,利用自行研制的液态源MOCVD系统进行了薄膜的沉积。
综上所述,本文所研制的MOCVD系统,简化了源输送方式,降低了对源材料的要求。系统操作简便、运行稳定、控制效果良好。
其他文献
“毫无疑问,战争马上就要爆发了!”津博士“啪”的一声把报纸拍在桌子上.rn津博士是A国的一位学者,他刚刚看完了一则有关A国元首出访R国的新闻,新闻上说,A国总统在晚宴上把鼻
常言道:“事实胜于雄辩。”在议论文写作中,也是如此。空谈一堆大道理,不如“以例服人”。丰富而生动的事例对议论文是必不可少的。当然,议论文还是要以议论为主。对事例或素材的叙述只是辅助手段,最终目的还是为论证服务。 议论文的写作,可以分“三步走”:在对丰富事例的评述中亮明观点;接着夹叙夹议,展开充分论证;最后辩证分析,总结全文。 第一步:事例排比,引出论点。 一般议论文习惯于把事例放在文章的中间
新课程标准下的小学数学教学评价,应该将评价的重点放在学生自身,着眼于学生的个人数学素质和能力的提高,让每个学生都能感受到自己的成长和进步,获取成就感,坚定学好数学的信心。
数学是我国的基础教学科目,提升数学教学的有效性对于学生的综合发展及数学能力的培养具有十分深远的意义。但从实际情况上来说,当下小学数学教学之中,为数不少的教师始终无法与
随着我国兴起又一轮的大规模铁路建设,铁路迎来了跨越式发展时期,高速铁路和城际铁路的大力修建,国家铁路网结构不断的完善,铁路客运量也随之大幅度的增加。很多大城市的铁路
目的 探讨雷公藤多甙联合糖皮质激素治疗肾病综合征(NS)的临床疗效及其安全性.方法 选取九江市第三人民医院2017年6月—2019年6月收治的NS患者40例,按入院顺序分为对照组和观
捷联惯性导航系统(Strap-down Inertial Navigation System,SINS)是一种完全自主式的导航系统,但其导航误差会随时间不断累积。卫星导航系统(Global Navigation Satellite Sy
小学数学教学中学生良好学习习惯的养成,离不开长期的实践活动,活动经验的积累和学习习惯的培养是相统一的,在活动中培养学生的主动倾听、动手操作、语言表达等习惯,提高课堂教学
染料类分子亚甲蓝(Methylene Blue简称MB)是一种已用于外科临床的传统成药。但是,由于其对长波长红光具有高吸收的特异光敏功能,分子具有平面结构,相对尺寸小,有利于激发态能量的
随着我国社会经济的迅速发展和基本建设规模的不断扩大,挡土墙在建筑、铁路和公路路基等工程中得到了广泛的应用,其高度也从过去的几米发展到十几、二十几米,各种形式的新型挡土