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微波介电陶瓷是指应用于微波频段(300MHz~300GHz)电路中作为介质使用并完成一种或多种功能的陶瓷材料。随着微波技术的发展,微波介电陶瓷引起了人们的广泛关注。低温共烧陶瓷技术(Low Temperature Co-fired Ceramic,LTCC)是指将多层陶瓷叠层共烧,实现将不同类型、不同性能的无源元件集成在一个器件中的方法,是实现器件小型化、模块化的先进技术。Ba3Ti4Nb4O21(BTN)陶瓷具中等的介电常数、高的品质因数,结构稳定,易于合成,是一种有潜力的中介微波介电陶瓷材料。但BTN陶瓷具有高的频率温度系数(τf)和高的烧结温度(>1270℃),无法满足LTCC技术的使用要求。本论文通过(Mg1/3Nb2/3)复合离子置换改性形成Ba3Ti4-x(Mg1/3Nb2/3)xNb4O21(BTMNN-x, x=0~4)固溶体,并在Ba3Ti2(Mg1/3Nb2/3)2Nb4O21(BTMNN-2)的基础上,通过添加低温烧结助剂BaCu(B2O5)(BCB)、ZnO-V2O5的方式成功实现了BTMNN-2基微波介电陶瓷的低温烧结。实验结果表明采用传统的固相反应方法可以制备出组成为BTMNN-x的六方固溶体相。XRD结果表明(Mg1/3Nb2/3)置换Ti,衍射峰逐渐向低角度移动,表明置换增大了晶体的晶面间距;SEM图像显示其晶粒逐渐长长、变大,表明置换加速了物质的扩散。微波介电性能也随着置换的进行发生了相应的变化,介电常数由66降低到42,品质因数由10500GHz上升到22300GHz,频率温度系数由60ppm/℃降低到14ppm/℃。以BTMNN-2组分陶瓷为基体,以BCB、2ZnO-V2O5做为烧结助剂,加入1.5wt%的助烧剂就可以将BTMNN-2烧结温度由1245℃降低到950℃,其微波介电性能为:εr=50, Qf=10500GHz, τf=18ppm/℃;用2ZnO-V2O5做为烧结助剂,当加入量为5wt%时, BTMNN-2陶瓷可以在900℃烧结致密并获得良好的微波介电性能:εr=47, Qf=10500GHz, τf=16ppm/℃。