【摘 要】
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由于脉冲激光具有高能量密度性及低热扩散效应性的特点,极大的提高了激光的微细加工能力,使其成为近年来激光加工领域研究的热点。为了对脉冲激光对材料刻蚀、烧蚀机理有系统的
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由于脉冲激光具有高能量密度性及低热扩散效应性的特点,极大的提高了激光的微细加工能力,使其成为近年来激光加工领域研究的热点。为了对脉冲激光对材料刻蚀、烧蚀机理有系统的认识,本论文试验中采用了在脉冲激光中具有代表性的纳秒、飞秒激光作为光源,进行了四个方面的研究工作。首先,我们利用纳秒激光在光刻胶SU-8表面进行了双光束单次曝光、双光束双次曝光及双光束三次曝光的干涉实验,得到了周期性的干涉条纹结构和阵列的孔结构,并对干涉条纹深度、质量与激光功率、脉冲次数、及照射时间的关系进行了分析。其次,利用四光束纳秒激光对镍板表面进行干涉刻蚀,得到了具有周期性矩形排列孔的微结构表面。第三,利用掩膜板加工周期性微结构,研究发现该结构表面质量较好、具有一定疏水性,而涂有无特氟龙的周期微结构表面疏水性效果更佳。第四,进行飞秒烧蚀不锈钢表面研究,发现烧蚀孔径、烧蚀深度与激光功率、脉冲次数呈线性增长关系,而孔的烧蚀质量也受到脉冲次数及功率的影响。
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