由于脉冲激光具有高能量密度性及低热扩散效应性的特点，极大的提高了激光的微细加工能力，使其成为近年来激光加工领域研究的热点。为了对脉冲激光对材料刻蚀、烧蚀机理有系统的认识，本论文试验中采用了在脉冲激光中具有代表性的纳秒、飞秒激光作为光源，进行了四个方面的研究工作。首先，我们利用纳秒激光在光刻胶SU-8表面进行了双光束单次曝光、双光束双次曝光及双光束三次曝光的干涉实验，得到了周期性的干涉条纹结构和阵列的孔结构，并对干涉条纹深度、质量与激光功率、脉冲次数、及照射时间的关系进行了分析。其次，利用四光束纳秒激光对镍板表面进行干涉刻蚀，得到了具有周期性矩形排列孔的微结构表面。第三，利用掩膜板加工周期性微结构，研究发现该结构表面质量较好、具有一定疏水性，而涂有无特氟龙的周期微结构表面疏水性效果更佳。第四，进行飞秒烧蚀不锈钢表面研究，发现烧蚀孔径、烧蚀深度与激光功率、脉冲次数呈线性增长关系，而孔的烧蚀质量也受到脉冲次数及功率的影响。