由光学玻璃、陶瓷、半导体以及人工晶体等高性能硬脆材料制造而成的具有复杂型面的零件在航空航天、光学、电子、汽车及军用武器装备等领域有着重要的应用,这些零件往往具备较高的表面精度和较低的粗糙度值。对铸铁基金刚石砂轮采用电火花精密整形可以实现硬脆材料零件复杂型面的精密、超精密加工,并能极大的提高加工效率。本文对各种金刚石砂轮修整技术的发展现状进行分析,详细探讨了电火花精密整形机理,并对铸铁基金刚石砂轮的电火花精密整形的效率和精度进行实验研究。通过单因素法考察雾、水、加压空气、空气等四种媒介,不同的整形电压、不同的整形电流,同时还考察了喷雾器位置、雾中含水量等影响电火花精密整形效率的因素。经过实验分析可知,整形效率随整形电压、整形电流的增加而增加,在雾中由于放电状态呈现等离子体放电,所以整形效率最高。其次考察了雾、水、加压空气、空气等四种媒介,不同的整形电压、不同的整形电流等影响电火花精密整形精度的因素。经过实验分析可知,而整形精度随整形电压、整形电流的增加而变差,当媒介为水的时候,带走的热量最多,所以整形精度最好。通过优化电火花整形工艺,可以很好的把设计的工件廓型通过仿形法复制到砂轮上。利用matlab软件对整形后砂轮和工具电极进行廓型边缘检测。通过对比,整形后工具电极与设计工具电极廓型一致,整形后的砂轮与设计的工件廓型基本一致,角度误差分别是0.75°和0.8°,砂轮顶部与设计工件廓型相比只多蚀除了0.15mm,证明电火花精密整形在复杂型面加工上可以取得快速和精密的整形效果。