品质因数是MEMS谐振器件的关键参数，它决定基于MEMS谐振器件的传感器的检测灵敏度和检测分辨率。品质因数的大小由MEMS谐振器件的能量损耗机制决定。为了提高微谐振器件的检测灵敏度，从两个方面着手研究提高谐振器件品质因数的方法。其一，通过结构优化，减小谐振器件振动时的能量损耗，提高自然品质因数；其二，通过外部电路正反馈，对谐振器件的振动进行能量补偿，提高有效品质因数。压电悬臂粱是典型的MEMS谐振器件，有自检测和自驱动的优点，是一个多层结构(包含压电层和其他弹性层)的器件。本文对于压电悬臂梁的品质因数做了初步的研究，并针对压电悬臂梁的结构设计给出初步建议。 本文主要工作如下：1.研究MEMS谐振器件作为谐振式传感器敏感元件时的敏感机制，由此分析了基于MEMS谐振器件传感器的主要工作原理。 2.理论分析了品质因数对于基于MEMS谐振器件的谐振式传感器检测性能的影响。 3.对于扫描力显微镜中几种谐振式检测方法，品质因数对系统性能的影响是不同的，因此本文研究了品质因数对在不同工作方式下SFM检测性能的影响。 4.基于微悬臂梁的铁电薄膜性质检测系统中，为了提高系统检测灵敏度，在系统中施加了数字电路正反馈模块，成功地提高了系统的品质因数。 5.系统分析压电悬臂梁的能量损耗机制，并对压电悬臂梁的结构设计提出了初步建议。