【摘 要】
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本文在硬质合金WC-6％Co和高速钢基体表面上，采用反应直流磁控溅射的方法，通过控制不同的氮气、氩气流量和不同的基体温度等工艺参数，沉积了TiAlN多元复合涂层。在此基础上，借助于X
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本文在硬质合金WC-6％Co和高速钢基体表面上，采用反应直流磁控溅射的方法，通过控制不同的氮气、氩气流量和不同的基体温度等工艺参数，沉积了TiAlN多元复合涂层。在此基础上，借助于X射线衍射仪、激光扫描共焦显微镜、扫描电镜、电子能谱仪、划痕试验机、纳米压入测试仪等仪器对TiAlN多元复合涂层的微观组织、元素分布、涂层与基体间的结合力和涂层的纳米压入硬度进行了系统的研究。 研究结果表明：制备出的TiAlN多元复合涂层性能优异。即涂层后的基体表面硬度高、涂层与基体间的结合良好。用TiAlN涂层刀具和未馀层刀具进行了多次切削实验。结果表明涂层后刀具具有更高的耐磨性和更长的使用寿命，大大提高了刀具的耐用度，应大力推广使用。
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