信息产业是21世纪全球产业发展的重点。集成电路作为信息产业的基础和核心,是国民经济和社会发展的战略性产业,已成为国际竞争的焦点和衡量一个国家现代化程度以及综合国力的重要标志。但集成电路在生产过程中,必须使用300多种不同性质的原料和溶剂,其中有特殊毒性、易燃性及可燃性的特殊气体与强酸、强碱及有机溶剂等液态化学品,若因操作或管理控制不当,将会对人体健康和生态环境产生较大危害甚至可能产生灾害。目前很多省市对集成电路的发展进行统筹规划,以园区产业布局的方式推动集成电路行业的发展。因此,基于ESH理念,加强集成电路产业园区的规划布局研究,对集成电路产业的健康发展,有效保护环境、预防职业病和生产事故等具有非常重要的意义。本文在吸收国内外相关研究成果的基础上,提出面向ESH的集成电路产业园规划指标体系,以及如何将其应用于实际进行了较为深入的分析研究。首先,对国内外ESH发展和研究现状进行了综述,然后对面向集成电路企业的ESH规划理论基础和方法进行了研究,为提出面向ESH的集成电路产业园区规划体系奠定基础。其次,分析了集成电路企业ESH发展现状,提出了相关的控制与管理方法。基于此,规划了集成电路工业园区定位与产业规划,提出了相关的产业布局、产业规划内容,分析了园区建设与营运期的污染源,结合环境影响要素与环境影响因子,构建了面向ESH的集成电路产业园规划布局的评价指标体系,并给出了相关定性分析方法与定量计算模型。最后,将以上规划体系应用于某市园区实际的规划中,针对某市集成电路工业园环境特点及相关规划目标基础上,应用该面向ESH的评价指标体系,对各指标进行了详细的计算与评价,规划了相关的控制措施。研究成果已被园区规划与建设采纳,取得一定的实施效果。