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基于正交双行波磁场的绝对式直线时栅位移传感器研究

来源 :重庆理工大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：bendehen123

【摘 要】

：

随着国民经济的快速发展,高精密加工对我国工业发展水平产生了重要影响,位移传感器作为核心的位置反馈单元,在各种中高端机床系统中发挥了重要作用,其绝对位移测量方法具备抗干扰能力强、高性能、无需寻找零位参考点、消除累计误差等优势,被广泛应用于工业生产中。绝对式光栅、磁栅、容栅等栅式位移传感器提高测量精度与分辨率是利用在空间内超精密刻划线,超精密刻划对加工环境与加工设备要求极高,因此成本较高。而时栅位移传

【作 者】

：

彭伶俐 

【出 处】

：

重庆理工大学

【发表日期】

：

2019年08期

【关键词】

：

绝对式测量 直线位移 时栅位移传感器 双行波磁场 

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