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作为一种高精度的波前传感器,横向剪切干涉仪需要得到至少两个正交方向上的波前斜率才能复原波前。因此,传统的横向剪切干涉仪需要通过运动光学元件或复杂的光学系统在时间或空间上对待测波前进行分光,以获得至少两个正交方向上的波前斜率,这使得系统的实时性和稳定性都受到很大影响。四波横向剪切干涉仪(Quadri-Wave Lateral Shearing Interferometry,简称为QWLSI)利用二维复振幅光栅的衍射特性对待测光实现分光。待测光入射到光栅,经光栅衍射,绝大部分衍射光能量均匀地分布在四束一