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Ni掺杂对CrSiN薄膜海水中摩擦腐蚀特性的影响
【摘 要】
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本文采用非平衡磁控溅射,在Ti6Al4V和单晶Si基体上沉积不同Ni含量的Ni-CrSiN薄膜。分别利用X射线衍射仪、X射线光电子能谱仪和扫描电镜测试分析了薄膜的晶相结构,成分和价键状态,以及薄膜的表面和截面形貌;然后利用白光干涉仪表征薄膜的粗糙度和残余应力;薄膜的硬度和韧性则通过动态超显微硬度仪测试分析得到。再利用球盘式摩擦磨损试验机测试薄膜在海水中的摩擦学性能,并通过白光干涉仪和配有能量色散X
【出 处】
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南京航空航天大学
【发表日期】
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2020年01期
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