共面介质阻挡放电应用于薄膜制备的研究

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共面放电因能产生稳定的薄层等离子体区而在无汞光源,表面改性和等离子体增强的化学气相沉积等方面有着重要的应用。本论文针对其薄膜制备的应用,开展了共面放电反应器的设计和制作研究。制得的共面放电反应器具有放电稳定,均匀,造价低等优点,具有重要的潜在应用价值。利用制作的共面放电反应器,采用等离子体化学气相沉积法对制备TiO_2薄膜进行了探索研究。初步结果表明,当以钛酸四异丙酯作为前驱体时,由于其饱和蒸汽压太低,在现有的实验条件下难以制备大面积均匀的TiO_2薄膜。而当以四氯化钛为前驱体时,
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