碳氟薄膜相关论文
共面放电因能产生稳定的薄层等离子体区而在无汞光源，表面改性和等离子体增强的化学气相沉积等方面有着重要的应用。本论文针对其薄......
【目的】具有超疏水性的木材可以抑制或减小木材表面对水分的吸收,从而延长并提高木材的使用寿命及性能,研究木材表面等离子体刻蚀......
期刊
目前,碳氟等离子体被广泛用在器件的微细加工过程中,如沉积低介电常数的氟化非晶碳薄膜,刻蚀SiO2、Si 以及其它相关材料。由于器件......
