【摘 要】
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物理三维轮廓、形变、振动、位移等参量的光电测量方法,以其非接触、高精度、高灵敏度以及易于实现自动测量等优点,而被广泛地应用.该论文主要对阴影莫尔测量和结构光测量技
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物理三维轮廓、形变、振动、位移等参量的光电测量方法,以其非接触、高精度、高灵敏度以及易于实现自动测量等优点,而被广泛地应用.该论文主要对阴影莫尔测量和结构光测量技术等课题进行了研究,获得了光电测量的新方法.通过对几种阴影莫尔法进行测量精度和速度的分析对比,首次提出了一种快速变光源阴影莫尔物体轮廓测量法,开发了具有国际先进水平的IC形变测量与分析系统.通过对光切法位移测量的研究,首次提出并实现了阈值电压自适应的方法,克服了被测物表面特性复杂对测量的影响,通知化覆铜板在线厚度测量系统就是在总结以往测厚系统优缺点的基础上而形成的.该文主要从稳定性、精度、速度、寿命等电子工业中存在的实际问题出发,来提高测量系统的抗干扰能力、实现无机械运动和全光电测量.
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