柔性压电薄膜声发射传感器研究

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声发射传感器在无损检测方面有着重要的作用,被广泛应用于多种重要基础设施和科研设施的状态检测上。传统的声发射传感器有着灵敏度高、工作频域广的优点,但其厚度较大,且没有柔性,因此不适用于弯曲物体表面,也不适合在狭小空间内工作。PVDF薄膜具有不错的柔性和良好的压电性能,铌酸锂单晶具有良好的压电性能,小尺寸的铌酸锂单晶薄膜也能适应弯曲表面,使用这两种材料制备柔性压电薄膜声发射传感器有着良好的前景。本文的研究目的是,对基于上述两种材料的柔性薄膜式声发射传感器进行设计和仿真,摸索出两种声发射传感器的制备工艺,
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