本文研究了用于磁悬浮轴承系统的电感式位移传感器。基于互感式传感器的原理、磁悬浮轴承的特点以及磁悬浮轴承系统对传感器的使用要求,设计、制造了用于磁悬浮轴承系统的差动变压器式位移传感器,采用线性差动变压器(LVDT)信号处理芯片 AD598 完成了传感器测量电路的设计。 为了进一步对所研制的传感器进行试验研究,研制了传感器的静态标定装置和动态标定装置。在静态标定过程中,针对线圈匝数、磁极夹角、转子材料、气隙大小、激励电压幅值、激励频率等对传感器的性能有重要影响的因素分别进行了试验研究,最终得出有利于对传感器进行优化设计方案;静态标定试验研究结果表明,所研制的传感器具有较宽的线性范围、较好的线性度、较高的灵敏度。动态标定试验研究结果表明,所研制的传感器具有良好的动态特性。 本文所做的工作可以为无传感器式磁悬浮轴承的研究奠定一定的理论和实验基础。所研制的传感器,也可以用来测量其它形式的线位移或角位移。