零件表面的加工质量直接影响着其性能的好坏。随着科技的不断发展,光学、电子、机械行业对表面加工的要求也越来越高,所以对零件表面微观形貌进行高精度检测就更为迫切。　　本文设计的共光路精密检测仪,是在对形貌检测技术做了大量的研究工作后,基于微分干涉系统,引入单轴平晶微分剪切和移相器定量移相技术,形成的高精度检测系统。在实物系统的基础上，利用C++Builder平台设计了系统的控制软件,不仅可以实现对系统检测的自动化控制,也更有利于对它进行操作。　　本文首先对检测系统的基本原理——微分相移干涉原理进行了研究,并针对性的设计符合系统要求的单轴双折射平行晶体和移相器,完成检测系统的光路方案设计,并进行实物硬件系统的搭建,同时针对系统的结构布局,设计并制作了外箱,对整个系统进行了整合。　　然后在软件设计过程中,先根据系统的需求编写了控制界面,实现一系列的操作功能,并实现数据和参数的保存;其次实现系统与电脑间的接口通信;最后通过软件与图像工具的结合编程,实现五步相位提取算法和表面形貌重构算法。　　最后在前面工作的基础上，对采集到的样品表面信息图像经过预处理,利用形貌重构算法成功得到了样品表面形貌图,并根据数据结果,对粗糙度进行了简单的分析。　　实验表明,设计的共光路精密检测仪在普通条件下,能较好的完成样品检测,抗干扰能力强,可达到纳米级的测量精度。