论文部分内容阅读
随着科学技术的发展,微纳定位技术广泛应用于精密工程、纳米科学与技术、微电子工程、生物工程等领域。微纳定位技术的发展水平代表着一个国家先进制造技术的水平,而我国微纳米定位技术的研究水平与国际水平存在较大差距。因此,研究微纳定位技术对于提高国家先进制造技术水平、缩小国内外同行间的差距具有重要意义。论文在综述国内外微纳定位平台系统应用及其控制方法的基础上,重点围绕微纳定位平台迟滞模型建模技术及其控制方法展开理论与实验研究。论文主要研究内容包括：第1章论述了论文研究的背景与意义,介绍了微