基于微光电阵列的MEMS器件振动在线测量系统研究

被引量 : 0次 | 上传用户:h135zy
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
MEMS(微机电系统)器件具有体积小,重量轻、低能耗等很多优良的特性,具有广阔的发展前景,被广泛应用于众多领域。MEMS器件动态特性测试的研究具有重要的意义,其中对于MEMS器件振动的测量格外受到关注。本文针对小体积、微振幅测量的应用需求,设计并研制了一种基于微光电阵列的MEMS器件振动在线测量系统。本文的主要研究内容包括:1.调查了国内外对于微小振动测量方法的研究现状和趋势,重点分析激光三角测振方法、激光多普勒测振方法和电容式测振方法的原理及其优缺点。根据这些方法的体积和适用环境,提出了一种基于光
其他文献
目的绞股蓝作为一种保健品,具有抗肿瘤、抗氧化、降三高的作用,其中主要活性成分为皂苷类和黄酮类化合物,尤其是热处理绞股蓝富含抗肿瘤活性较强的皂苷类化合物,但其中的同分异构体很难分离。本研究目的是筛选热处理绞股蓝中对人胃癌SGC-7901细胞具有抑制活性的有效成分,并开发其分离方法。方法1.应用HP-20大孔吸附树脂、硅胶柱色谱、Sephadex LH-20型凝胶柱、半制备型高效液相和分析型高效液相色
学位
蓄冷空调技术是指在夜间电网低谷期,蓄冷设备将冷量蓄存起来,在白天用电高峰期将冷量释放,用于满足高峰负荷的需要,从而实现电网负荷的移峰填谷,所以蓄冷技术兼具经济效益和社会效益。在蓄冷系统中,选择合适的蓄冷材料是其高效运行的关键,直接关系到冷量储存和运输。其中功能型相变蓄冷浆体具有蓄冷密度大、流动性好的优点,成为目前的研究热点。首先本文研究了尿素水溶液的相图和结晶规律,构建了二元共晶水溶液在固液两相区
学位
机电超环面驱动系统是一种典型的机电一体化系统,它集永磁同步电机和行星蜗杆传动于一体,具有结构紧凑、散热好和功能集成等优点。该系统自带减速功能,可以在较小的空间实现低速大转矩输出,在航空航天、电动汽车和军事等领域具有广阔的应用前景。本文从结构特点、工作原理、内模控制、矢量控制方面对超环面驱动系统进行了深入研究。基于超环面驱动系统的空间结构和工作原理,分析其行星轮同时进行公转和自转的运动情况,得到了系
学位
近年来,随着内燃发电机组的迅速发展,其在工作过程中产生的排气污染物总量逐渐上涨,已经成为不可忽视的动力机械污染来源。在油气资源短缺、大气污染加剧等能源环境问题日益突出的今天,发展清洁可再生的替代能源已经成为必然趋势。甲醇由于其来源广泛、含氧量高、燃烧速度快等特点被认为是最具前景的内燃机替代燃料之一。由本课题组提出的柴油甲醇组合燃烧(DMCC)技术经过大量的台架试验以及道路实践证明,其在有效降低车用
学位
学位
本文以研究复杂机器人手术系统的人因可靠性评估为目的,建立一套针对该类系统的通用评估模型。该模型实现了影响系统可靠性的因素建立、因素间相关性分析、各因素权重定量确定以及系统风险预测等功能,并完整应用于肺癌穿刺机器人手术系统,验证了模型的正确性和优越性。本文的主要研究内容及成果如下:首先,针对机器人手术的特征,提出了影响系统可靠性的因素集,开发了分析因素间相关性情况的模型。该模型结合解释结构算法和对应
学位
低速重载工作环境常导致齿轮箱齿轮等关键部件发生严重磨损、裂纹和断齿等故障,进而导致整个传动系统停止作业,造成巨大损失。故障特征提取是齿轮故障诊断技术的关键环节,为从混合环境噪声和干扰振动的信号中提取有效故障特征,本文提出了一种基于改进动态时间规整和改进独立成分分析相结合的齿轮特征提取方法。主要研究内容如下:(1)首先采用改进动态时间规整算法将齿轮箱健康信号和故障信号规整对齐,然后通过重采样恢复信号
学位
磁流体动力学(MagnetoHydroDynamics, MHD)角速度传感器是目前在轨测量微角振动信息的最有效可靠的仪器,能够同时满足宽频带和低噪声的技术指标。目前MHD角速度传感器的频域特性与噪声特性的研究尚不完善,现有的测试系统存在一定的缺陷与不足。因此,本文对MHD角速度传感器的频域特性与噪声特性展开研究,并在理论分析与仿真计算的基础上,完成了对MHD角速度传感器频域特性与噪声特性的高精度
宽频惯性稳定平台是由惯性传感器作为反馈的姿态测量与控制系统,能够在宽频带内隔离载体振动、保证平台负载精确跟踪目标。而作为宽频惯性稳定平台的角位移敏感元件,位移传感器的测量精度会直接影响系统精度。为保证系统测量精度,本文对宽频惯性稳定平台中位移传感器信号的降噪方法展开研究。  (1)提出惯性稳定平台中位移传感器的共圆式安装方法,该方法采用先求平均再差分的测量方式,可以将测量精度提高2倍的同时减小安装
经典面齿轮传动系统是由渐开线圆柱齿轮和面齿轮组成,根据齿面啮合时面齿轮轴线与小齿轮轴线的位置关系,可分为正交、非正交或偏置三种情况,以满足传动装置的不同需要。相较与传统直齿面齿轮,偏置非对称面齿轮由于其独特的构型,具有较大的重合度,应用范围也更为广泛。本论文对高性能偏置非对称面齿轮的复杂曲面设计方法及啮合特性展开深入研究,以面齿轮传动的新构型为切入点,根据齿轮啮合原理,利用插齿刀展成加工方法设计偏
学位