一维多层压电陶瓷叠堆微驱动工作台

来源 :清华大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:pheihe
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
随着现代科技的发展,各个行业对设备精度的要求越来越高,因此可以提高设备精度的微定位技术得到了越来越广泛的应用。利用压电陶瓷叠堆构成的叠层压电陶瓷驱动器不仅响应速度快、能耗低、分辨率高,且能够产生较大的推力、没有磨损、不需润滑,这些优点使其在微定位技术中得到了较广泛的应用。尽管叠层压电陶瓷驱动器具有以上优点,但其输出位移较小,有时满足不了设备的要求。柔性铰链微位移放大器可以将输入位移位移放大后输出,二者结合便可以拓展彼此的应用范围和领域。基于课题组提供的几种型号的叠层压电陶瓷驱动器,本文设计了一款微位移工作台。微动台采用了一种两级对称式的柔性铰链微位移放大结构,利用有限元软件对其进行了静态分析,模态分析。在分析的基础上,对结构的不合理之处进行了优化,直至达到预期的效果。与此同时,也采用流延法自制了一种叠层压电陶瓷。对自制与购买的叠层压电陶瓷进行了一系列的测试,并对其基本特性进行了实验验证和对比,实验结果与理论十分吻合。
其他文献
掺铥光纤具有极其丰富的荧光光谱,采用不同的泵浦技术,可以获得1650 nm至2150 nm的长波长激光输出。而中心波长位于2μm附近的激光正处于水分子的红外吸收峰,在外科手术或眼
本文以云南省有色金属资源型上市企业为研究切入点,主要探讨目前云南省有色金属企业融资中存在的问题,并提出措施和建议,希望能为云南企业融资提供参考。
<正>罗德与施瓦茨公司新推出的R&S?ZNBT40是一款能在100 kHz~40 GHz频率范围内配置多达24个测量端口的矢量网络分析仪(VNA),产品开发人员可以用它测量像5G阵列天线这样的多端
近年来,谐波源负载大量使用造成了系统电能质量在很多情况下难以满足要求,电网被迫接入了越来越多的各类补偿装置。有源电力滤波器(active power filter,APF)被认为是治理谐
唐家沱污水处理工程总规模40万m3/d,分三期实施,是重庆市主城区的两大核心排水工程之一。污水处理厂产生的污泥采用中温厌氧二级消化—干化—卫生填埋的处理处置路线。介绍了
针对树形数据网格这种分布式分层数据网格模型,提出了一种最佳副本放置算法,其中的副本数量k可以由用户指定。算法实现由2个阶段构成.在阶段1,对二叉树的全部节点以反向广度
目的:探讨贫血对晚期非小细胞肺癌患者化疗效果的影响。方法:选取120例晚期非小细胞肺癌患者作为研究对象,对其血红蛋白水平变化予以回顾性分析,探讨贫血的发生的危险因素,分
论述了土坝涵洞断裂与漏水处理的顶管换管法,并介绍了管线的选定、施工方法和结构防渗。
“当自己行使职权的时候,身边总围着一圈投其所好者,你要什么就给什么,那时自己志得意满,颇有成就感,如今想起来不过就是别人的猎物而已。”这是某中央企业一名因为弄权受贿
报纸
超高速(400G/1T)相干光通信网络由于需要更高的传输速率和更为复杂的载波调制格式,而对激光光源模块有更高的要求——线宽窄(<100 k Hz)、信噪比高(>40 d B)以及具有波长可调