自动倒装贴片机对准方法研究与光路设计

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全自动倒装贴片机是半导体生产工艺中完成芯片和基底对准、键合的高精度自动化设备,适合于特征尺寸小,键合精度要求高的IC、MEMS、MOEMS等的大规模生产。因此,本文针对倒装贴片机的自动对准系统进行了研究。文章针对贴片机实际应用环境,提出了基于多点自动对焦的芯片调平方法。采用图像清晰度评价和自动焦点搜索实现自动对焦,有效地将调平、对焦、对准光路统一起来;在对基于视觉反馈的对准光路现状及发展趋势进行深入调查的基础上,提出并比较了两套基于视觉反馈的对准光路结构方案,该方案不仅有利于获取高分辨率高像质的图像,而且能够简化结构、节约空间以及提高工业现场应用的稳定性。
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