【摘 要】
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该文采用小角X射线衍射、offset小角X射线衍射和X射线漫散射实验技术测量PZT/LSCO集成薄膜、BTO/STO超晶格薄膜和PBCO/YBCO Josephson隧道结多层膜.利用X射线反射率理论和畸
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该文采用小角X射线衍射、offset小角X射线衍射和X射线漫散射实验技术测量PZT/LSCO集成薄膜、BTO/STO超晶格薄膜和PBCO/YBCO Josephson隧道结多层膜.利用X射线反射率理论和畸变波玻恩近似(DWBA)动力学理论对X射线实验结果进行计算和分析,从而给出薄膜样品界面和表面的微结构参数、以及薄膜表面的动力学生长特征参数.高分辨透射电子显微镜(HTEM)、原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)的实验进一步验证了由X射线衍射方法所得到的结果.
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