【摘 要】
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本文主要讲述了基于介质集成波导(SIW)技术和LTCC工艺的毫米波频段高Q滤波器的研制。这种滤波器具有体积小,便于集成的特点,也适用于表面贴装。先是对LTCC工艺及材料做了基本
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本文主要讲述了基于介质集成波导(SIW)技术和LTCC工艺的毫米波频段高Q滤波器的研制。这种滤波器具有体积小,便于集成的特点,也适用于表面贴装。先是对LTCC工艺及材料做了基本介绍,并采用微带环谐振法设计了一个LTCC工艺性能测试电路,对LTCC成品的介电常数、损耗和Q值进行测试。在了解LTCC工艺及性能的基础上,分析了介质集成波导(SIW),首次应用坡印廷矢量定理,借助于EDA软件,对SIW的电磁能量泄漏与结构间的关系进行了分析,并成功地在LTCC工艺上用一个基于SIW技术的微带-波导过渡验证了其可行性。从理论和软件仿真上充分分析基于SIW结构的谐振器滤波器的基础电路。从对空气填充SIW谐振器的分析,得到在Ferro A6M材料中构成谐振器的金属排孔等效电壁的位置,得到简化的计算SIW谐振器的模型。分析并创建了SIW谐振器的外部Q值、谐振器间的耦合系数随耦合结构尺寸变化的曲线图。结合滤波器理论设计的耦合值与所创建的图表,确定滤波器的初始尺寸,通过软件对滤波器参数的微调,最终得到滤波器的精确模型。并用LTCC工艺成功实现了一个由12层基片构成的SIW谐振器切比雪夫滤波器。在分析LTCC集成高Q滤波器实验结果的基础上,设计了一个基于SIW技术的9层基片的高性能的椭圆函数滤波器。
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