在激光-DD团簇核聚变研究中,如何提高氘团簇与激光相互作用产生的氘离子能量,进而提高聚变中子产额,已成为飞秒超强激光驱动氘核聚变反应的研究热点之一。在一定程度上提高氘团簇的粒径大小,并通过引入高Z原子(含氘异核团簇),可在团簇爆炸后利用库仑排斥作用有效地提高氘离子的能量,进一步提高聚变中子的产额。本论文提出一种更重的含氘异核团簇——氘化铒纳米团簇(Z=68),并开展其制备技术基础研究,得到如下主要结论:采用直流磁控溅射的方法制备出金属铒薄膜,研究了溅射功率对沉积速率以及其薄膜微观结构的影响。在溅射功率20 W~60 W的范围内,金属铒薄膜呈现柱状晶生长模式,均为六方密排结构,而且具有明显的(110)晶面择优取向。其微观结构特征明显不同于电子束蒸发等方法制备的金属铒薄膜。采用直流磁控溅射的方法制备出氢化铒薄膜,研究了氢气流量对薄膜物相组成的影响。当氢气流量增至了3 sccm时,其物相均为氢化铒相,铒氢比接近1:2;氢气流量增至8 sccm时,铒氢比接近1:3。以上研究验证了氢(氘)化铒纳米团簇的制备的可行性。采用基于高气压磁控溅射的等离子体气相凝聚技术制备出金属铒纳米团簇,详细研究了溅射电流,氩气气流,结露区长度等工艺参数对铒纳米团簇粒径大小及分布的影响规律,并重点对比了两种不同结露区气压的变化规律,可实现近球形铒纳米团簇的平均粒径在6 nm~10 nm范围内调控。再此基础上向结露区内等离子区域通入1sccm的氘气,可制备出氘化铒纳米团簇。