论文部分内容阅读
本篇论文讨论的是有关玻璃材料表面改性的问题。在对玻璃、玻璃深加工、深加工的主要物理方法以及磁控溅射沉积方法作了简单介绍后，对玻璃镀膜膜层的主要品质和特性：针孔、结合力、耐磨性、均匀性、化学稳定性、光学性质、热学性质和电学性质展开了尽可能全面细致的分析和讨论。其中涉及了镀膜设备、沉积工艺、镀膜材料、膜系结构以及自然科学的诸多层面。在展示现代真空技术在这一领域中取得成就的同时，也把其中包括的科技内涵作了较为系统的分析、归纳、概括和总结，对业内人士可有一定的启迪和参考作用。