【摘 要】
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该文系统地分析了敏感膜功函数变化及引起功函数变化的机理,臭氧在敏感膜表面的单层及多层吸附模型,并在实验中制作了多种栅结构(片状悬浮栅以及白金网状悬浮栅),采用多敏感膜和混和膜,检测ppb范围内臭氧浓度的复合栅FET型(HSGFET)臭氧传感器.分析和比较了不同栅结构和不同敏感膜的悬浮栅FET型臭氧传感器的实验结果,测量和分析了温度对传感器响应特性的影响.
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该文系统地分析了敏感膜功函数变化及引起功函数变化的机理,臭氧在敏感膜表面的单层及多层吸附模型,并在实验中制作了多种栅结构(片状悬浮栅以及白金网状悬浮栅),采用多敏感膜和混和膜,检测ppb范围内臭氧浓度的复合栅FET型(HSGFET)臭氧传感器.分析和比较了不同栅结构和不同敏感膜的悬浮栅FET型臭氧传感器的实验结果,测量和分析了温度对传感器响应特性的影响.
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