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文章采用飞秒激光辐照、飞秒激光泵浦-探测等技术手段,研究了相变材料Ge2Sb2Te5(GST)薄膜的相变特性及其超快动力学过程。文章主要介绍了泵浦——探测实验光路的原理,相变材料Ge2Sb2Te5的相变机理,以及飞秒激光与其相互作用的微观动力学过程。Ge2Sb2Te5样品的制备,采用德国莱宝公司生产的多靶共溅射镀膜仪制备。采用Ge2Sb2Te5复合靶溅射于高纯硅(纯度优于99.99%)基片。并且利用X-ray衍射分析、拉曼散射光谱仪分析(LRS)、光学显微镜等对飞秒激光作用下Ge2Sb2