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介质/金属/介质(Dielectric/Metal/Dielectric，DMD)多层膜具有良好的透过率和导电性能，是一种极有潜力的透明电极。已报道的ITO/Ag/ITO和InZnSnOx/Ag/InZnSnOx这两种DMD具有良好光电性能和比ITO更好的柔韧性，用于OLED时器件性能比使用ITO为阳极的器件更好，非常适用于柔性有机电致发光器件，但其中仍然含有极其稀有并且有毒性的铟元素，对人类健康不利，其用于OLED器件时，铟的扩散影响器件的性能。研究不含铟成分并且能提高OLED性能的DMD透明导电薄膜至关重要。
本论文主要研究了基于氧化钼的电介质/金属/电介质透明导电薄膜的基本性质并用其作为有机电致发光器件的阳极。实验选用与热蒸发工艺兼容的MoO3作为膜系的电介质层，以Au、Ag，Al三种金属分别作膜系的金属薄层制备MoO3/Metal(Au，Ag or Al)/MoO3(MAM)薄膜。MoO3/Au/MoO3膜系在可见光波段透过率超过70％，方块电阻小于10Ω/□，Ag作金属薄层时薄膜的性质和MAM的光电特性相近，Al作金属薄层时薄膜的透过率约为60％，面电阻约为30Ω/□。
制备了以MAM透明导电薄膜为阳极的有机电致发光器件(OLED)。MoO3/Au/MoO3透明导电膜为阳极时，器件最大发光效率比标准器件(ITO为阳极)最大效率高出38.4％，以2500 cd/m2为初始亮度，发光亮度衰减为初始亮度的70％时，器件连续工作的时间约为1.5小时，约是标准器件的50倍。性能提高的主要原因是MAM本身表面电阻低及其中的MoO3和NPB接触，降低了空穴注入势垒。MoO3/Ag/MoO3透明导电膜为器件阳极时，器件性能较差，器件很容易短路。MoO3/Al/MoO3透明导电薄膜为器件阳极时，由于其透过率较低，器件的效率不及标准器件。