纳米技术主要研究纳米尺度表征和检测、纳米材料、纳米器件与系统制造，是新一代科技革命的领军领域，涉及物理、化学、生物等诸多学科。　　纳米技术的产生，推动了微电子技术的创新性发展。例如，代表性的纳米材料-碳纳米管(CNT)已被广泛的被研究应用于微纳电子器件。CNT依其手性不同而具有金属性和半导体特性，在实际应用中，需要根据CNT的电特性来构建纳米器件的组成部分。因此，发展可以在线检测CNT材料电特性的技术和构建纳米器件、系统具有重要的科学意义和应用价值。　　扫描探针显微镜是一种具有广泛适应性的纳米尺度观测工具，是纳米技术发展的基础，利用扫描探针显微镜既可以获得样品形貌，也可以观测样品的力学、电学等特性。针对CNT电特性的在线检测需求，本论文以静电力显微镜(EFM)为基础，开展了CNT等纳米材料电特性的在线检测理论方法和实验技术研究，并且研究构建了一套实验检测系统。　　本论文主要进行了以下几个方面的研究工作。　　(1)在系统研究分析了EFM工作原理和样品电特性检测机理基础上，开展了CNT电特性检测、辨识理论方法研究，构建了以交流EFM为基础的包含信号检测、成像，扫描控制等功能的实验系统。　　(2)基于CNT电特性检测、辨识理论方法，开展了不同属性CNT对交流电场作用的介电响应分析研究，构建了基于电场力观测量的电特性辨识方法。在实验系统上，系统开展了CNT电特性测试实验技术研究。实验表明，基于电场力观测量的电特性辨识方法可以有效实现单壁CNT金属性和半导体性的在线辨识，并且给出CNT样品的电特性差异分布和百分比。　　(3)基于上述测试方法，研究运用栅极偏压技术，开展了ZnO，CuO等其它纳米线材料的电特性检测方法研究，实现了ZnO，CuO纳米线的N/P型半导体特性的在线检测，为纳米线材料的电特性检测分析，提供了一套完整的检测方法和实现技术。　　(4)为了更好的理解纳米线内部电荷运动，以发展更广泛的微纳器件应用和设计创造新型电子器件，研究了纳米线电荷操作，并且对其进行了实验验证。在此基础上，进一步研究变形对CNT内电荷的影响，利用AFM的操作功能实现CNT变形，然后通过加电操作和EFM检测，研究电荷在CNT中的移动，与此同时研究了CNT加电与加电时间的关系。　　本论文开展的基于EFM平台的纳米线电学性质的检测为EFM在纳米检测中的应用打开了新的领域，为纳米线材料的检测提供新的技术和方法，为以后应用于纳米器件、微电子器件提供了有力的检测保障。电荷操作的研究有利于进一步研究CNT的电学特性，为其应用于微电子器件提供了更多的方法手段。