非球面波长扫描干涉测试方法的研究

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随着科学技术的飞速发展,人们越来越清楚认识到非球面在各种光学仪器中的特殊作用,因此近年来在光学仪器的设计和制造中,越来越多地采用光学非球面。非球面的种类繁多,尺寸、精度要求各异,其检测方法远比球面复杂和困难。尤其是大型高精度的非球面光学零件,面形检测难度更大。 本文主要是研究一种新的非球面检测方法—激光波长扫描干涉测试方法。研究的目的主要是针对大型高精度非球面面形检测中干涉仪的参考光路和测量光路较长,干涉系统对工作台振动和空气抖动等外界干扰因素的影响敏感,干涉图不稳定等问
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本文详细论述了一种基于互感系数变化的用于惯性制导的精密的力平衡加速度计的设计、分析。加速度计的分辨率、灵敏度阈值和高的热稳定性是设计时主要考虑的参数。本论文中使用推—挽式长挠性结构来保证低灵敏度阈值,同时保证抗振鲁棒性。为了提高热稳定性,本文中讨论了利用永久磁铁作为磁场源;微加工技术被引入摆组件的结构设计和利用力矩线圈作为激励线圈来简化电感式的检测装置。加速度计的设计量程为0~70g。 目前
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微操作技术是微机电系统应用中重要的组成部分,研究微操作的控制问题对于微操作的应用具有重要的作用,控制方法和控制效果的好坏直接影响微操作的精确度和工作效率。对于微操作的控制,一般运用控制理论结合微操作自身特点,利用计算机技术、电子通讯技术和微技术,实现控制功能。 本文在研究国际上应用在微操作系统各种先进控制技术的基础上,结合我们的微操作系统的自身特点,利用操纵杆实现基于视觉反馈的微操作控制和利
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