高技术产业是促进国家经济发展，提升国际竞争力的重要产业之一。与传统产业主要依靠自然资源的发展特点不同，高技术产业的发展更多依赖的是不断创新的科学技术，创新绩效的提升是其快速发展的主要推动力。那么，有哪些因素会对高技术产业的创新绩效产生影响？如何更有效率地提升高技术产业的创新绩效？这成为本文的研究重点。主要内容大致分为以下几部分：首先，对高技术产业以及创新绩效的相关理论做一个简单介绍，通过对大量国内外相关文献的整理与归纳，了解学术界在该领域的研究现状，总结现有结论并发现可能存在的不足之处，为之后的实证研究做好准备。其次，利用《中国高技术产业统计年鉴》及《中国科技统计年鉴》中的相关数据，对我国高技术产业的发展趋势主要从以下几个方面进行简单介绍：高技术产业的发展历程、高技术产业的规模演变、高技术产业的结构划分以及我国与国际主要发达国家高技术产业创新投入对比。同时，对我国高技术产业在1996-2012年这17年间，对创新绩效的变化趋势做了数据描述。再次，利用整理好的数据首先进行单位根检验、协整检验以及数据误差性分析，确定所选取的数据样本具有实证的意义，并利用面板数据模型初步分析整个高技术产业中因变量与自变量之间的关系。之后根据五个子行业的相关数据分别构建了五个半参数模型，研究各行业的创新绩效和其影响因素之间所存在的关系。通过系数对比、图表描述来研究不同行业间各因素对创新绩效的影响存在哪些差异。选择某一具体企业进行访谈来验证实证分析的准确性。最后，通过实证研究得出：我国高技术产业在发展过程中，不同子行业间各指标对创新绩效的影响程度是存在差异的，分析其中原因，并提出以下对策建议：(1)加大研发资金的投入与管理；(2)加强对高技术人才的吸收及培养；(3)加强对出口比率的控制；(4)注重对支持渠道的多元化发展；(5)保障创新技术的商品化进程。希望通过本研究，能够更有效率、更有针对性的提升我国高技术产业的创新绩效，促进整个产业的长期可持续发展。