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本文结合理论分析、仿真模拟以及实验测试,完成了基于单开口SRR、双开口SRR和三开口SRR的极化不敏感SRR太赫兹滤波器的研制。同时研制了一个中心频点在340 GHz左右的互补SRR窄带带通太赫兹滤波器。本文的主要工作及创新点如下:1.分析了经典单开口SRR结构中横向金属臂宽度以及纵向金属臂宽度对0°极化波及90°极化波入射时谐振特性的影响。通过对比仿真结果发现:在0°极化波入射时,增加横向金属臂的宽度可以使谐振频率明显增高;在90°极化波入射时,减小纵向金属臂的宽度可以使谐振频率降低。由此研制了两个极化不敏感SRR太赫兹滤波器MSRR1和MSRR2,并对其进行了实验研究。实验测试结果与仿真模拟结果基本一致,证明了所研制的太赫兹滤波器具有极化不敏感特性。2.在经典双开口SRR结构的基础上,仿真分析了改变双开口的开口位置对双开口SRR极化特性的影响。通过合理设计开口位置和开口大小研制了一种极化不敏感双开口SRR太赫兹滤波器。实验测试结果与仿真结果基本一致。证明了此滤波器的第二谐振具有极化不敏感特性,且其第一谐振具有通过入射波极化方向进行调幅的功能。3.通过研究开口及开口位置对三开口SRR滤波器极化特性的影响,设计了一种具有极化不敏感特性的三开口SRR太赫兹滤波器。并对其进行了实验研究,实验测试结果与仿真结果基本一致,证明了此SRR太赫兹滤波器具有良好的极化不敏感特性。4.利用HFSS仿真软件模拟分析了互补SRR结构中各个参数对其谐振特性的影响,设计了一个基于双层互补SRR结构的双通带带通滤波器,其矩形系数得到了明显改善。同时对理想导体条件下的互补SRR结构的谐振特性进行了研究,并设计了基于理想导体的互补窄带带通滤波器。在此结构的基础上,分析了基于铝金属的SRR互补结构中各个参数对其谐振特性的影响,并研制了一种基于互补SRR结构的双通带窄带带通滤波器。仿真得到此滤波器两个通带的中心频率及透射系数分别为(335 GHz,82.7%)、(807 GHz,91.8%)。其-3dB带宽分别为35 GHz和49 GHz。并对其进行了实验研究,实验测试结果与仿真结果基本一致。