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随着科学技术的发展,传感器技术在武器装备中越来越重要。为了准确、快速地获取信息,要求作为感知的传感器具有良好的综合性能。加速度传感器是惯性导航、制导和控制检测设备的重要测量器件,广泛用于航空、航海及武器的制导和控制系统。其中,数字式压电石英加速度传感器以其精度高、响应快、数字输出、抗干扰能力强,以及无活动部件和反馈回路等特点而受到人们的关注。这种传感器的使用,对于提高武器装备的快速反应能力,实时实施监控有重要意义。
石英晶体受到力的作用时其谐振频率会无滞后地随所加力的大小线性地变化,这一现象称为石英晶体谐振器的力一频特性。本文即对利用这一特性制作的石英加速度传感器进行了研究。
研究内容主要围绕石英加速度传感器的相关基础理论和制作工艺,在前人工作的基础上,通过理论分析、配合相关实验重点研究了作为敏感元件的石英晶体谐振器的力一频特性、加速度传感器的敏感结构、工作原理、检测电路等,总结了石英晶体谐振器的制作工艺,并对传感器性能参数进行了测试。
本文研制的石英加速度传感器,通过改变倍频器的放大倍数,可调节其量程和灵敏度。但量程与灵敏度相互制约,灵敏度越高,量程则越小。因此,实际工程中可根据实用要求作相应调整,以充分发挥传感器的综合性能。测试结果表明,石英加速度传感器的量程大于等于65g,分辨率为10-4g,非线性度小于0.2%,耐冲击100g。