随着无线通信技术的发展和智能手机的普及,移动端软件得到广泛的应用。由于Android平台具有平价性、开放性和可移植性等优点,因此,本文针对真空镀膜过程中的光学膜厚监控,设计并实现了基于Android平台的镀膜监测方案。在硬件电路部分,为了抑制噪声干扰,对监控光源进行了交流调制。待测光信号通过光电探测器转换为电信号以后,由CA3140组成的跨阻抗放大电路进行I/V变换,再经过TL082进行二级交流放大,送入ADS1013模数转换器,在单片机控制下进行模数转换,处理后的数字信号通过ESP8266 Wifi模块发送给手机。在软件设计部分,设计了硬件电路中的AD时序控制、I2C数据传输以及Wifi模块数据交互程序。Android手机端应用程序实现了控制指令发送和监测数据接收,可以对接收到的监测数据进行实时显示,并灵活控制扫描速度和波形缩放,同时对不同手机分辨率,横、竖屏工作方式具有较好的自适应功能。最后测试表明,软硬件均可正常工作。