导模法生长蓝宝石(Al2O3)晶体的研究

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蓝宝石是含有少量Ti4+和Fe3+的Al2O3(刚玉)晶体,是一种简单的六方晶系氧化物晶体。蓝宝石晶体具有非常稳定的化学性能,良好的机械性能,优良的热传导性和电气绝缘性,被广泛地应用于各种光学元件和红外军事装置、卫星空间技术、高强度激光窗口材料。是LED和LD发光二极管半导体工业最为理想的衬底材料。采用导模法,又称边缘限定-薄膜供料(Edge-Defined,Film-Fed Growth,简称EFG)法,设计合理的工艺参数,生长出质量较好的蓝宝石晶体,并对其缺陷和光谱性能进行分析研究。(1)完善了导模法生长蓝宝石晶体的生长工艺,研究分析了原料处理方法、温场设计、拉速、保温材料、生长方向、模具设计等对蓝宝石晶体质量的影响。(2)对蓝宝石晶体的缺陷(包括开裂、气泡和包裹物)进行了系统地研究,并提出了减少或消除缺陷的方法。(3)测试了蓝宝石晶体的紫外—可见光谱,分析了不同颜色蓝宝石的致色机理。
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