【摘 要】
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采用新的A1N制备方法——反应离子镀(RIP)制备氮化铝薄膜。 将真空镀膜机改造成可以进行反应离子镀的多用沉积炉。 在真空条件下将金属铝加热汽化成蒸气，同时在金属铝与
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采用新的A1N制备方法——反应离子镀(RIP)制备氮化铝薄膜。
将真空镀膜机改造成可以进行反应离子镀的多用沉积炉。
在真空条件下将金属铝加热汽化成蒸气，同时在金属铝与玻璃基片之间形成一个氮气放电的等离子区，使铝蒸气与氮离子反应形成氮化铝沉积在玻璃基片上。
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