玻璃作为一种透明材料,具有化学稳定性好、使用寿命长等优点;但由于其相对稳定的表面结构和性能,使其在某些领域的应用受到了限制。因此,需要通过表面改性技术来改变表面性能以拓宽其应用范围。本文提出了一种利用355nm波长的脉冲紫外激光刻蚀与酸腐蚀相结合来对玻璃表面进行改性的方法,然后通过粗化和活化步骤分开的方式在玻璃表面制备高结合强度和良好导电性能的金属铜层,主要研究了激光加工参数对玻璃表面粗糙度和刻蚀深度的影响。研究表明,粗化过程中线填充间距、激光的能量密度、扫描速度和脉冲频频对玻璃表面特定微观结构的形成至关重要。通过扫描电镜、X射线光电子能谱等分析测试技术研究了玻璃表面激光改性前后的微观形貌、粗糙度、刻蚀深度、润湿性、化学组成的变化规律。结果表明,改变线填充间距并不能得到表面形貌规律性变化的表面;当线填充间距接近光斑直径时,玻璃表面整体被刻蚀粗化,再通过酸腐蚀可以改善表面形貌的均匀性,通过铜沉积实验得出最佳激光粗化改性参数和最佳激光活化改性参数。当要求大面积沉积金属层时,酸腐蚀后可通过NaOH清洗改变改性区域的化学环境,以增加金属铜沉积的稳定性。当能量密度达到10.44J/cm2时,活性催化点数量较多。当能量超过某一特定阈值时,会致使玻璃表面活性层被刻蚀去除,不利于金属铜的沉积。通过最佳工艺参数可在改性的玻璃表面制得结合强度稳定高于10MPa的金属铜层,并能在玻璃表面制备出与常温下本体铜相同数量级电阻率的铜导线层。可见这种激光表面改性技术具有一定可行性,具有应用前景。