【摘 要】
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自从超短脉冲激光出现,就很快被应用到激光微加工领域中.由于玻璃等多种透明介质在红外波段无吸收,因此红外飞秒超短脉冲可以在其体内获得微结构而不对表面造成损伤.针对超短
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自从超短脉冲激光出现,就很快被应用到激光微加工领域中.由于玻璃等多种透明介质在红外波段无吸收,因此红外飞秒超短脉冲可以在其体内获得微结构而不对表面造成损伤.针对超短脉冲的高峰值功率特性、与物质作用的超短时间特性以及脉冲间隔内的相干特性等特点,人们提出了多种脉冲激光制备微结构的方法,在玻璃、有机聚合物等多种透明介质材料中进行了3D微结构制备的尝试,到目前人们在聚合物和Si玻璃中均实现了亚波长分辨的微结构的制备.该文在他人研究的基础上,主要研究了飞秒脉冲激光在聚合物薄膜光栅和LiNbO<,3>晶体中波导结构的制备研究.
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