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非晶硅薄膜太阳能电池与晶体硅太阳能电池相比,具有工艺简单、成本低、能耗少等优点。但是,由于非晶硅薄膜材料自身的缺陷及光致衰减效应的存在,电池的转换效率较低、性能稳定性较差,阻碍了非晶硅薄膜太阳电池的应用。影响非晶硅薄膜太阳能电池性能的因素主要有两个方面：一是各层薄膜材料自身的特性；二是薄膜太阳能电池结构的设计。本文基于非晶硅薄膜太阳能电池开展基础实验研究,包括透明电极TCO表面处理、窗口层a-SiC:H薄膜材料结构和性能研究以及TCO/p电接触特性研究。在此基础上,采用半导体器件仿真软件AM