铌酸锌铋BZN薄膜的制备和介电可调性能研究

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【摘要】

：

近年来,微波介质材料由于其在微波功能器件中的应用受到越来越多的关注。采用微波介质材料的谐振器、微带线等构成的微波混合集成电路,可使器件尺寸达到毫米量级,使微波介质材料成为研究热点。铌酸锌铋BZN(Bi_(1.5)Zn_(1.0)Nb_(1.5)O_7)为立方烧绿石结构,是非铁电材料。由于其具有适中的介电常数,较低的损耗,并且介电常数可通过外加电场来调节(即介电调谐性能),使得它在介电可调微波集成器

【作者】

：

齐增亮

【机构】

：

电子科技大学

【发表日期】

：

2008年04期

【关键词】

：

BZN薄膜射频磁控溅射介电机理介电调谐率

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