BZN薄膜相关论文
Bi_(1.5)Zn_(1.0)Nb_(1.5)O_7(BZN)是一种立方烧绿石结构的微波介质材料,由于其具有较高的介电常数,极低的损耗,并且介电常数可通......
近年来,微波介质材料由于其在微波功能器件中的应用受到越来越多的关注。采用微波介质材料的谐振器、微带线等构成的微波混合集成......
摘要使用CF1/Ar高密度感应耦合等离子体(ICP)对磁控溅射法制得的铌酸锌铋(BZN)薄膜进行了干法刻蚀工艺研究。分析了BZN薄膜的刻蚀速率随......
以立方焦绿石Bi1.5Zn1.0Nb1.5O7(BZN)为配方基础,通过掺入过量10%的Bi2O3,形成Bi1.65Zn1.0Nb1.5O7.225非化学计量比分子式。采用固相......