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精密机械零件在使用过程中由于表面磨损,影响零件可靠性和稳定性。伺服阀反馈杆作为伺服阀的核心部件,在高频率转换过程中容易磨损,造成阀芯容置槽和反馈杆球头之间形成空隙,很大程度上降低了伺服阀反馈杆的反馈精度。为了改善伺服阀反馈杆球头表面的耐磨性,实验采用脉冲磁控溅射技术,以碳化钨(WC)作为改性材料,在弹性合金钢3J1表面制备WC膜层,研究WC对伺服阀反馈杆表面耐磨性的影响状况。实验从三个方面进行研究,首先研究靶电源对WC薄膜的的影响;其次研究偏压电源对WC膜层性能的影响;最后通入Ar/C2H2气体流量