ZnS荧光薄膜的制备及其表征以及掺杂对其性能的影响

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【摘要】

：

硫化锌(ZnS)是一种重要的宽禁带(室温下Eg约为3.7eV)直接带隙半导体材料。在紫外光探测器、短波长发光二极管、激光器二极管、太阳能电池等领域有着广泛的应用前景。为了使得ZnS薄膜能广泛应用于各类光电器件,有必要改善(或者改变)ZnS薄膜的物理、化学等性能,在ZnS薄膜中掺入杂质元素和热退火处理就是其中两种重要的方法,尤其是ZnS薄膜的p型掺杂显得尤为重要。离子注入技术是当前半导体材料一种重要

【作者】

：

苏海桥

【机构】

：

电子科技大学

【发表日期】

：

2009年03期

【关键词】

：

真空蒸发法 ZnS薄膜离子注入热退火处理光学性能

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