输入整形技术能有效抑制低阻尼柔性系统的残余振荡。因其应用简便,对建立模型不确定性的鲁棒性好,从而在高速高精度的运动控制定位系统中得到了广泛的应用。论文首先介绍了输入整形的基本概念,并阐述了其设计的方法和步骤,进一步说明了其能够抑制系统残余振荡的原因。然后通过仿真对比和实验验证的方法,对输入整形器的鲁棒性进行分析,并得到了对实际工程应用具有一定参考价值的仿真结果。由于固晶机柔性拾取臂在高速运动时的残余振荡会影响产品工艺质量,本文针对这一问题,采用输入整形技术对其进行控制。在实际应用中,由于固晶机对控制周期时间和定位精度的要求,考虑到输入整形器的时滞性,首先利用PID控制来提高系统的定位精度,并提出基于输入整形器的离线微分规划的方法来补偿该算法的时滞,同时抑制系统的残余振荡,从而达到了高速高精度的控制要求。