半导体器件制造技术是本世纪中期发展起来的一门新技术。精缩机是集成IC器件制造的关键设备之一。其主要问题是要满足不断提高的工作分辨力、套刻和生产效率三项技术指标,其中光刻工作台系统的定位精度和重复精度,是决定光刻线条粗细和曝光图形套刻精度的重要因素。目前国内外研制成功计算机辅助制版系统和由它控制的自动制图机、光学图形发生器等高精度自动制版设备,以及激光图形发生器、电子束图形发生器等新的制版设备。基于此,利用计算机丰富的资源,采用先进的开放式运动控制技术,以及基于C/S构架的网络视频技术对高精度分布重复精缩机的控制系统进行了研制,同时开发了相应的应用软件。本文的研究内容主要包括:1、研究半导体器件的制版工艺,分析其生产原理与流程。2、研究应用开放式运动控制技术,构建基于PC及DSP上下位控制的精缩微动控制系统。3、研究应用基于TCP/UDP协议的远程控制和视频监控技术。4、开发基于C/S构架的高精度分布重复精缩机的软件,满足其高精度和高效性要求。5、进行实验验证了所研制的精缩机的有效性和稳定性。