基于氧化铝单晶的红外增反膜的制备与研究

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随着光学薄膜技术的逐渐成熟,红外增反膜已经成为薄膜工作者的一个研究焦点。增反膜是以高折射率和低折射率材料按照设计厚度交替镀制而成的多层膜系。基于其高反射率低损耗的特性使得其在高能激光武器中有着重要的应用。本文从Maxwell方程组出发探讨了增反膜工作原理。借助Essential Macleod软件以1392nm为参考波长设计了S/(HL)^7H/A结构的增反膜系。以折射率、应力状态及材料在红外波段的吸收损耗等指标为出发点,综合比较几种可供选择膜料的优劣后选取TiO2和SiO2分别作为制备
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