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光学功能薄膜广泛应用于光电产业、国防、环境科学等众多领域,市场前景广阔。本文针对窄带滤光片和高反射膜两种光学功能薄膜进行了研究,通过对膜系设计以及对制备工艺的研究与优化,取得了一些有价值的研究成果。本文的主要研究内容和成果如下:1.针对于医用窄带滤光片,基于法布里-铂罗标准具带通滤光片的基本结构形式,并辅以TFCalc膜系设计软件,设计了符合使用要求(530±20nm@T>92%,截止带透过率小于0.5%)的窄带滤光片,并采用射频离子束溅射镀膜技术成功制备了符合要求的窄带滤光片。2.针对于可见光波段