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薄膜太阳能电池作为一种新的能源材料正在得到迅速的发展和进步,CdS多晶薄膜太阳能电池由于具有成本低廉、性能稳定、工艺简单等特点受到了广泛重视。其中,CdS薄膜既作为CuInGaSe多晶薄膜太阳能电池p-n结的n型材料,也作为电池的窗口层,其质量直接影响薄膜的制备,更重要的是影响电池的光电转换效率及其寿命。本文采用化学水浴法沉积CdS薄膜,探讨了成膜溶液的温度、pH值、反应物浓度(包括硫脲及硫酸镉浓度)等条件对CdS薄膜质量的影响,并对薄膜进行不同条件的热处理,着重研究低温下CdS薄膜的制