【摘 要】
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氧化物透明导电膜是重要的光电子信息材料.在该论文中,我们研究了有机衬底ITO、ZnO：Al和SnO：Sb透明导电薄膜的制备及光电特性,研究了有机衬底透明导电膜的结构特性、掺杂机理及
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氧化物透明导电膜是重要的光电子信息材料.在该论文中,我们研究了有机衬底ITO、ZnO：Al和SnO<,2>：Sb透明导电薄膜的制备及光电特性,研究了有机衬底透明导电膜的结构特性、掺杂机理及散射机制.该项工作对于有机衬底透明导电薄膜的研究具有重要的理论意义,有机衬底透明导电薄膜在有机光电器件和显示等领域具有广泛地开发应用前景.首次采用真空蒸发乙酸锌和氯化铝,在玻璃衬底上制备ZnO和ZnO：Al透明导电薄膜.研究了薄膜的制备、结构特性及光电特性,研究最佳的制备条件和工艺参数,以获得光电性能俱佳的透明导电膜.
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