论文部分内容阅读
随着科技的进步和现代装备的需求,精密加工正成为高端制造领域的发展趋势。为了检验精密零件的加工精度,需要对其精密测量。面型元件是常见的精密零件。由于其曲面复杂、表面光滑,因此很难检测。本文提出一种单轴法线跟踪式测量系统。单轴法线跟踪式测量系统以差动共焦理论为基础,结合准直系统以及伺服驱动系统来实现测量部分随待测表面倾斜角度变化从而实现对大曲率表面的测量。准直部分和伺服驱动与轴向测量系统的结合解决了传统意义上的差动共焦系统在待测面倾斜角度过大的情况下测量效果不理想的问题。本文研究任务是深入分析单轴法线跟