半导体技术的发展决定了工业的繁荣程度。晶圆在半导体行业中起到了支柱作用，因此得到了愈来愈多的重视。生产晶圆需要在在真空腔室内传递，洁净间的特殊要求以及设备内部的真空构造加之高精度的操作，对机械手的控制提出了很严格的要求。真空机械手是一种在真空环境下工作的机器人，主要用于半导体工业中，实现晶圆在真空洁净环境下的运输。示教盒是晶圆传输机械手控制系统的重要组成部分。操作者通过示教盒完成对机械手下达运动指令，获得机械手各个位置信息，危险情况下急停机械手等动作。传统的示教盒多采用单片机或者PLC来实现功能，总体来说功能比较单一，操作步骤比较冗杂，人机界面不够友好，反应速度不够迅速。本研究将普遍适用于掌上设备的ARM+Linux方案应用于工业机器人示教功能，很好的解决了上述问题。创新性的设计减小了示教盒的体积，丰富了设备的功能，并且为再次开发和重复开发提供了良好的条件。随时可以根据实际生产需求进行调整，同时将嵌入式系统的方案应用于示教盒的新思路也得到了有效验证。本文完成真空机械手控制系统示教盒的总体框架，以AT9G45为核心设计示教系统硬件系统，它主要包括微处理器模块、存储器模块、人机接口模块及通讯接口模块。基于嵌入式Linux操作系统和Qt开发工具设计示教系统的人机交互界面及通讯接口驱动。通过与机器人控制部分的连接调试。验证了示教系统硬件设计和软件设计的可行性。